Tokyo Electron (TEL) 參加規模歷年最大的2023國際半導體展,東京威力科創總裁張天豪並應邀出席開幕典禮。TEL 為全球領先的半導體製造設備商,今年成立滿60周年,東京威力科創為其台灣子公司。
張天豪說,TEL是創新、有夢想的公司,為少數可以持續在6、8與12吋設備投入研發生產,善用台灣製造優勢者,其中,探針機在地生產並搭配自有軟體。憑藉技術領先、產品穩定與成本優勢,TEL在最先進的EUV曝光段塗布顯影,市占幾近百分百。
今年,兩大亮點產品:雷射晶邊修整系統(UlucusL) 與極低溫的蝕刻技術。前者可減少7成純淨水用量,減少粉塵廢水排放,後者則可提升高深寬比蝕刻的速度與精確度,展現最新微影技術,減少EUV曝光次數,可以節省電力並降低成本。
東京威力科創承襲TEL集團實踐數位化和脫碳並行的理念,推動永續以實現2050年淨零碳排目標。張天豪說,技術突破與應用創新提供產業持續成長的兩大支柱。大環境與政策面的不確定性並無礙半導體產業的長線發展。
AI與電動車等智能化應用,觸發半導體長線發展。根據世界半導體貿易統計組織(WSTS)的統計資料顯示,預估2030年全球半導體業產值將從2022年的5,740億美元,翻倍成長並超過1兆美元。
東京威力科創1996年成立,總部位於竹科,北中南均有辦公據點。張天豪說,為提供客戶最佳服務,在台灣成立有技術中心與訓練中心,兩年來,訓練中心已服務國內外工程師超過5,000人次,技術中心今年也擴增無塵室一倍面積,2024年底也將啟用台南營運中心。